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薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試

發布日期:2024-08-28 15:53:04         瀏覽數:   

  不同材料之間的區別是什么呢?必然是它的導電特性了,根據這一特性,材料分為了導體、半導體和絕緣體。

  目前非常熱門的納米材料的研究就屬于半導體材料的研究,納米材料又分為零維材料、一維材料、二維材料、三位材料等。零維材料就是量子點、納米粉末、納米顆粒等材料;一維材料是納米線、納米管等;二維材料是納米薄膜、石墨烯等;三維材料是納米固體材料。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖1)

  薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試就是基于二維材料的薄膜和石墨烯等材料形成的樣品做測試。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖2)

  石墨烯(Graphene)由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜,只有一個碳原子厚度的二維材料。厚度僅有0.335納米,是構建其他維數碳質材料的基本單元。具有以下特點:

  特點1:柔性,適合做可穿戴柔性電子設備;

  特點2:導電性強,載流子遷移率為Si的10倍,工作速度快,功耗低

  特點3:易改性。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖3)

  什么是電阻率?一種材料的電阻率表征的是阻礙電流流過的能力的大小,其單位為Ω·m/Q·cm。如果電流很容易在某種材料中流過,那么該材料有較低的電阻率;如果電流很難流過某種材料,那么該材料有較高的電阻率電阻率為材料的本質物理屬性,與大小和形狀無關。

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖4)

  比如石墨烯的電阻率是10的-8次方Ωm,要測試其電阻率有一下幾種方式:

  一、兩探針法測試塊狀材料電阻率

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖5)

  二、四線法測試塊狀材料電阻率

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖6)

  三、Van der Pauw電阻率測試

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖7)

  四探針技術要求樣品為薄膜樣品或塊狀,范德堡法為更通用的四探針測量技術,對樣品形狀沒有要求,且不需要測量樣品所有尺寸,但需滿足以下四個條件:

  1.樣品必須具有均勻厚度的扁平形狀。

  2.樣品不能有任何隔離的孔。

  3.樣品必須是均質和各向同性的。

  4.所有四個觸點必須位于樣品的邊緣。

  什么是霍爾遷移率?為什么要測試霍爾遷移率?霍爾系數是半導體材料在磁場中電流行為的重要表征。通過測試霍爾系數,我們可以確定半導體材料中的載流子類型(電子或空穴),進而分析材料的導電機制。霍爾系數的準確測量有助于我們深入理解材料的電學特性,為器件設計提供理論支持。

  載流子濃度反映了半導體材料中參與導電的粒子數量。通過測試載流子濃度,我們可以評估材料的導電能力,并據此優化器件的電流承載能力和功耗。載流子濃度的變化還可能影響材料的能帶結構和電學性能,因此對其進行測試有助于我們全面了解材料的性能特點。

  載流子遷移率表示了載流子在電場作用下的移動速度。高遷移率意味著材料中的載流子能夠更快地響應外部電場的變化,從而提高器件的響應速度和性能。因此,測試載流子遷移率對于優化半導體器件的動態性能具有重要意義。

  霍爾遷移率測試方法:

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖8)

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖9)

薄膜材料電阻率和霍爾遷移率測試(圖10)


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