同惠TH2851在微機(jī)電系統(tǒng)MEMS測試的應(yīng)用
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)]是一種基于CMOS工藝的集成技術(shù)。它將傳感器/微處理器/信號處理與控制集于一體，有效縮小了系統(tǒng)的體積，是一種先進(jìn)的加工技術(shù)。
MEMS測試難點:
1.泄露電流是MEMS的必測項目。泄漏電流是指MENS在非工作狀態(tài)時的電流值，其值大小將決定系統(tǒng)能耗的大小。MEMS系統(tǒng)的泄漏電流一般都小至pA量級，因此在測試泄漏電流時，需要帶前量放大器的高精度的源表設(shè)備。
2.電容是MEMS的必測項。電容式微傳感器是MEMS系統(tǒng)中常用的傳感器，它負(fù)責(zé)接收外界的信號并轉(zhuǎn)換為電學(xué)信號。這個電容值很小，一般為pF量級。測試設(shè)備所能施加的交流頻率和電容測量的精度是需要考慮的因素。
3.電阻是MEMS的必測項。電阻式傳感器在MEMS系統(tǒng)中非常常見其阻值的變化可以表征外界信號的變化。MEMS系統(tǒng)中的電陽范圍較大，因此測試設(shè)備的電壓電流動態(tài)范圍也必須足夠大。
4.MEMES工藝監(jiān)控也是MEMS測試的重要內(nèi)容。MEMS使用CMOS工藝進(jìn)行加工制造，為使系統(tǒng)性能穩(wěn)定，各步驟工藝必須嚴(yán)格監(jiān)測。比如載流子濃度，載流子遷移率都能都是需要監(jiān)測的參數(shù)。這需要使用能進(jìn)行此類測試的電學(xué)設(shè)備。
測試方案:
測試設(shè)備:4200A-SCS，SMU模塊+CVU模塊，TH2851阻抗分析儀
測試載臺:高功率探針臺/測試夾具
TH2851系列阻抗分析儀也徹底超越了國外同類儀器120MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、無法單獨測試的缺陷；中英文操作界面也解決了國外儀器僅有英文界面的尷尬；采用單測和分析兩種界面，讓測試更簡單。
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