憶阻器測試方案
問題:客戶做憶阻器相關(guān)測試,需要搭配一套方案滿足測試需求
問題分析:
憶阻器測試流程熟悉:
作為存儲器,憶阻器同樣有“置0”和“置1”及讀操作,只不過“置0”被稱為“RESET”,即從低阻態(tài)(LRS)重置為高阻態(tài)(HRS),反之被稱為SET,即“置1”操作。
但憶阻器在進(jìn)行讀寫操作之前,需要做一次“Forming”,這個激發(fā)操作之后,憶阻器件才具有正常的憶阻特性。在各個操作階段,都需要對憶阻器特性進(jìn)行表征,測試流程如下:
Forming前后特性驗證。驗證Forming前后的電阻。通常沒有特殊的測試步驟,一般與憶阻器單元IV特性測試結(jié)合在一起。
憶阻器單元IV特性測試(通常與Forming結(jié)合)。測試SET/RESET,HRS/LRS IV特性,憶阻器單元的基本測試
高速脈沖測試。用更窄脈寬的讀/寫脈沖序列進(jìn)行讀寫測試,憶阻器單元的速度極限能力測試
數(shù)據(jù)保留測試(Data retention)。數(shù)據(jù)保存后,在不同的環(huán)境下持續(xù)讀出,測試憶阻器單元保存數(shù)據(jù)的持久力
循環(huán)次數(shù)測試(Endurance)。高頻率寫,持續(xù)讀,驗證憶阻器單元的耐受力
在憶阻器初級研發(fā)階段,F(xiàn)orming及IV特性測試為基本測試,高速脈沖測試驗證憶阻器的極限功能。在后續(xù)更深入的研究情況下,就根據(jù)測試需要進(jìn)行調(diào)整。
客戶問題分析:
需要進(jìn)行IV特性測試,高速脈沖測試
如何解決:
根據(jù)不同測試項目搭配方案,最好能夠一套方案滿足測試需求:
通用配置一:(示例:半導(dǎo)體參數(shù)分析儀Fspro+探針臺)
配備源表模塊和脈沖測試模塊,一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)客戶測試需求
通用配置二:(示例:半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200+探針臺)
配備源表模塊和脈沖測試模塊,一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)客戶測試需求
當(dāng)然了還有低成本方案:
26xx系列SMU,同時需有脈沖功能+簡易探針
(主要是針對于IV測試):
(主要針對脈沖測試):
(AWG示意圖)
(AFG示意圖)
相應(yīng)方案(摘自泰克數(shù)據(jù)表格)