吉時(shí)利 2450 源表在半導(dǎo)體分立器件 I-V 特性測(cè)試方案
方案特點(diǎn)
豐富的內(nèi)置元器件庫(kù)(雙端口、三端口、MOSFET、BJT等),可以根據(jù)測(cè)試要求選擇所需要的待測(cè)件類(lèi)型;
四象限輸出和測(cè)量功能,可以在正負(fù)電壓、正負(fù)電流之間進(jìn)行無(wú)縫切換和掃描;
測(cè)試和計(jì)算過(guò)程由軟件自動(dòng)執(zhí)行,能夠顯示數(shù)據(jù)和曲線,節(jié)省了大量的時(shí)間;
精準(zhǔn)穩(wěn)定的探針臺(tái),針座分辨率可高達(dá)0.7um,顯微鏡放大倍數(shù)最高可達(dá)x195倍;
高達(dá)500fA電流輸出分辨率和10fA測(cè)量分辨率,可以滿足半導(dǎo)體器件微小電信號(hào)控制和測(cè)量要求。
測(cè)試功能
雙端口、三端口器件直流參數(shù)測(cè)量;
I-V,I-T,V-T,I-R,V-R掃描測(cè)試;
曲線繪制,原始數(shù)據(jù)導(dǎo)出,結(jié)果保存。
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
系統(tǒng)主要由一臺(tái)雙通道源表或兩臺(tái)單通道源表(SMU)、連接線或探針臺(tái),及上位機(jī)軟件構(gòu)成。以三端口MOSFET或BJT器件為例,共需要以下設(shè)備:兩臺(tái)吉時(shí)利2450源表、三同軸或香蕉頭連接電纜、夾具或探針臺(tái)。
上位機(jī)軟件與源表(SMU)的連接方式如下圖所示,可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一個(gè)接口進(jìn)行連接。
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