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電子薄膜材料表面電阻率測試方案

發(fā)布日期:2022-08-09     作者: 安泰測試     瀏覽數(shù):   

       概述:
  某一維線性尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于它的其它二維尺度的材料成為薄膜材料,理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米,但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料,因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金屬或有機(jī)物層。
  薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料,非電子薄膜材料不需要對(duì)其電學(xué)特性進(jìn)行分析,不是本方案針對(duì)的對(duì)象,電子薄膜又可分為導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜,介質(zhì)薄膜,電阻薄膜,磁性薄膜,壓電薄膜,光電薄膜,熱電薄膜,超導(dǎo)薄膜等,表面電阻率是電子薄膜電學(xué)性質(zhì)的重要參數(shù)。
  電子薄膜材料表面電阻率測試

表面電阻率測試常用方法是四探針法與范德堡法,但對(duì)電子薄膜材料,范德堡法很少應(yīng)用。多數(shù)情況下,電子薄膜材料表面電阻率測試對(duì)測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高,用源表加探針臺(tái)即可手動(dòng)或編寫軟件自動(dòng)完成測試。

電子薄膜材料表面電阻率測試方案(圖1)

  電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)
  電子薄膜種類多,電阻率特性不同
  需要選擇適合的SMU進(jìn)行測試
  被測樣品形狀復(fù)雜,需選擇適當(dāng)?shù)男拚齾?shù)
  厚度修正系數(shù)對(duì)測試結(jié)果的影響F(W/S)
  圓片直徑修正系數(shù)對(duì)測試結(jié)果的影響
  溫度修正系數(shù)對(duì)測試結(jié)果的影響
  環(huán)境對(duì)測試結(jié)果有影響
  利用電流換向測試消除熱電勢(shì)誤差
  利用多次平均提高測試精度
  需要考慮測試成本
  泰克吉時(shí)利電子薄膜材料測試方案
  1.通用配置
  a.2450/2460/2461
  b.四探針臺(tái)(間距1mm)

c.測試軟件(第三方)

電子薄膜材料表面電阻率測試方案(圖2)

  2.高阻電子薄膜材料測試方案
  a.6221/2182A+6514*2+DMM6500
  b.第三方探針臺(tái)

c.手動(dòng)或軟件編程

電子薄膜材料表面電阻率測試方案(圖3)

  方案優(yōu)勢(shì)
  1.不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求
  2.高精度SMU,即可手動(dòng)測試,也可以編程自動(dòng)測試
  3.高性價(jià)比
  安泰測試作為泰克吉時(shí)利長期合作伙伴,專業(yè)提供設(shè)備選型和測試方案,且為西安多家企業(yè)和院校提供吉時(shí)利源表現(xiàn)場演示,并獲得客戶的高度認(rèn)可,如果您想了解更多測試應(yīng)用方案,歡迎訪問安泰測試網(wǎng)www.**.cn


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