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吉時利源表在電子薄膜材料的應用方案

發布日期:2022-09-20     作者: 安泰測試     瀏覽數:   

概述:

某一維線性尺度遠遠小于它的其他二維尺度的材料成為薄膜材料,理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米,但由于厚度小于100nm的薄膜已經被稱為二維材料,因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金屬或有機物層。

薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料,非電子薄膜材料需要對其電學特性進行分析,不是本方案針對的對象。電子薄膜又可以分為導電薄膜,介質薄膜,半導體薄膜,電阻薄膜,磁性薄膜,壓電薄膜,光電薄膜,熱電薄膜,超導薄膜等,表面電阻率是電子薄膜電學性質的重要參數。

電子薄膜材料表面電阻測試:

表面電阻率測試常用方法是四探針法和范德堡法,但對電子薄膜材料,范德堡法很少應用。多數情況下,電子薄膜材料電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高,用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。

吉時利源表在電子薄膜材料的應用方案(圖1)

電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰:

●電子薄膜種類多,電阻率特性不同

 需選擇適合的SMU進行測試

●被測樣品形狀復雜,需選擇適當的修正參數

厚度修正系數對測試結果的營銷F(W/S)

原片直徑修正系數對測試結果的營銷

溫度修正系數對測試結果的影響

●環境對測試結果有影響

利用電流換向測試消除熱電勢誤差

●利用多次平均提高測試精度

需考慮測試成本

吉時利電子薄膜材料測試方案:

1、  通用配置

a.吉時利源表2450/2460/2461

b.四探針臺(間距1mm)

c.測試軟件(安泰測試系統集成可開發)

吉時利源表在電子薄膜材料的應用方案(圖2)

2、高阻電子薄膜材料測試方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM

b.第三方探針臺

c.手動或軟件編程

吉時利源表在電子薄膜材料的應用方案(圖3)

方案優勢:

1、  不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求

2、  高精度源表,即可手動測試,也可以編程自動測試

3、  高性價比

吉時利源表作為電學測量的常用儀器,在高校和研究所的相關實驗室內幾乎都能看到,源表集多表合一、配上專業軟件可以實現各種定制測量,使用非常廣泛。

安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴,專業提供設備選型和測試方案的提供,為西安多家企業和院校提供吉時利源表現場演示,并獲得客戶的高度認可,如果您想了解吉時利源表更多應用方案,歡迎訪問安泰測試網www.**.cn。



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