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吉時利微電子半導體行業方案

發布日期:2022-08-09     作者: 安泰測試     瀏覽數:   

電阻測試是表征材料特性的最常用測試手段,在某些應用中,用戶需要進行極端微小電阻(Ultra-lowresistance)測試,例如納米材料,超導材料,繼電器開關,低電阻材料、連接器的測試,或者精密的熱量測定和研究領域。這些被測件通常具有非常高的導電性和非常小的電阻阻值,對測試連接方案有很大挑戰。在進行這類材料和器件的測試過程中,為了最大限度的降低被測設備的自熱效應,確保待測件的安全和測量的準確性,通常會使用加流測壓的方式,在被測物兩端施加可控的微弱精密電流信號,通過歐姆定律測定被測件的電阻阻值。

吉時利微電子半導體行業方案(圖1)

上圖為融化斷裂的納米管,由于施加電流過大自熱引起斷裂

在微小電阻測試領域,泰克公司提供的微小電阻測試方案, 通 過 使 用 吉 時 利 高 精 度 電 流 源622X(100fA~100mA輸出可調 ) 或 2400 系列源表,以及納伏表2182A(1nV 靈敏度 ) 組合成為完備的測試解決方案,完美解決了在微小電阻測試過程中經常遇到的問題,使電阻測量靈敏度高達 10nW。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位機軟件和測試夾具,可以一站式解決用戶在儀表與待測件連接,測試結果存儲,以及數據分析過程中遇到的繁雜問題,提高測試效率。

方案特點:

● 極高的電阻測試分辨率和大測試量程

吉時利微電子半導體行業方案(圖2)

相比其他方法,622X+2182A方案提供了高達 10nW的電阻測試分辨率,提供了極高的性價比。

● 更好的發熱控制

吉時利微電子半導體行業方案(圖3)

622X電流源輸出的電流分辨率最高可以達到 100fA,

可以精確控制加載在待測件兩端的電流大小,確保待

測件處在安全狀態下

● 更先進的測試方法,消除熱電動勢

吉時利微電子半導體行業方案(圖4)

可以使用DeltaMode 模式消除,自動觸發電流源使信號極性交替變化,電流反向法消除了任何恒定的熱電失調,確保測量結果反映真實電壓值,大幅度降低測量中的噪聲信號

● 交鑰匙方案設計,可以提供完整的測試夾具方案和上位機數據采集處理軟件

吉時利微電子半導體行業方案(圖5)

低阻測試軟件界面

系統構成:

系統主要由 622X 高精度電流源 ( 或 2400 系列高精度源表 )、2182A 納伏表、測試夾具、轉接盒和上位機軟件構成。

吉時利微電子半導體行業方案(圖6)

622X精密電流源可以輸出正負電流,編程分辨率高達 100fA,6221 可以輸出帶寬在 1mHz~100KHz的交流和任意電流波形。

吉時利微電子半導體行業方案(圖7)

2182A具備 1nV 電壓測試分辨率,提供兩個獨立測試通道,可以與 622X 配合實現 DeltaMode 測試。

吉時利微電子半導體行業方案(圖8)

CT-MICR-ADP 轉接盒

方案還提供專用轉接頭配件CT-MICR-ADP,可以將622X和 2182A 的各種輸出接口 ( 插片或者鱷魚夾 ) 統一轉接為標準的 4 終端 BNC 接口,方便與其他夾具或者探針臺進行互連。

吉時利微電子半導體行業方案(圖9)

通過CT-MICR-ADP 連接微小表面貼裝器件的夾具上位機測試軟件 Cyclestar-MICR 提供了多種測試模式,包括 R-T 功能,電流掃描測試功能,DeltaMode 模式。

吉時利微電子半導體行業方案(圖10)

在DeltaMode下的軟件測試界面

軟件的 Pro 高級版還集成了脈沖測試功能,微分電導測試模式和 622X 任意波形輸出功能。

吉時利微電子半導體行業方案(圖11)

Pro 版本提供的脈沖、微分電導和任意波形輸出功能

一體化測試方案可以幫助客戶在短時間內搭建起微小電阻測試環境,針對不同物理尺寸,不同連接方式,和不同測試方法都可以快速方便的進行連接測試,并在電腦端直接記錄獲取數據進行后續分析。

系統結構:

吉時利微電子半導體行業方案(圖12)

使用CT-MICR-ADP轉接盒還可以將測試系統與探針臺或其他夾具進行連接

吉時利微電子半導體行業方案(圖13)

典型方案配置:

吉時利微電子半導體行業方案(圖14)

 安泰測試作為吉時利代理商,將和吉時利廠家一起,以客戶為中心,為客戶提供從解決方案、產品選型、儀器銷售到儀器維修、儀器延保、校準、預防性維護以及儀器培訓等為一體的服務,不管是售前還是售后,都讓用戶不再煩惱。


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